充氮烘箱又称氮气烘箱是一种利用气体循环的热风烘箱。它的运行原理如下:首先将干燥物品放入氮气烘箱内,然后通过加热器将氮气加热到一定温度。加热后的氮气会产生热风,并通过气流将热风传递到干燥物品上。同时,建立一个封闭的氮气循环系统,将热风从烘箱内循环出去,再通过加热器加热后重新循环进入烘箱内。这样循环往复,使得热风能够持续地传递到干燥物品上,从而达到快速、均匀、效率的干燥效果。在整个运行过程中,氮气烘箱内的气体是不断循环的,而氮气的惰性使得它不会对物品造成任何损害,从而保证了干燥物品的品质,特殊要求可加装浓度测试仪,测量箱内气氛浓度。
氮气烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显示屏的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、分子筛再生,医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。